5. 特殊氣體
5.5 稀有氣體
氖氣、氪氣和氙氣等稀有氣體，從標準純度到超高純度，都適用於工業、醫療、電子和航空應用。其中有些應用為使用氙氣提高手術成功率、使用氙氣作為太空船動力、使用氙氣和氪氣改善照明，以及使用氪氣製造高度隔熱窗。
| 氙氣 | ||
|---|---|---|
| 成分 | 純氙氣 (N48) | 特純氙氣 (N50) |
| 水 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 氧氣 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 氮氣 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 氫氣 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 氬氣 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| CₙHₘ | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 一氧化碳 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 二氧化碳 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 四氟化碳 (CF₄) | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.1 ppm |
| 六氟乙烷 (C2F6) | 不包括 | ≤ 0.1 ppm |
| 六氟化硫 (SF6) | 不包括 | ≤ 0.1 ppm |
| 氪氣 (Kr) | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 氪氣 | ||
|---|---|---|
| 成分 | 純氪氣 (N48) | 特純氪氣 (N50) |
| 水 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 氧氣 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 氮氣 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 氫氣 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 氬氣 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| CₙHₘ | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 一氧化碳 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 二氧化碳 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 氙氣 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 不包括 | 低純度氪氣 (N2O) | 不包括 |
| 水 | ≤ 10.0 ppm | 不包括 |
| 氧氣 + 氮氣 + 氫氣 + 氙氣 | ≤ 1.0% | 不包括 |
| 氖氣 | |
|---|---|
| Components | Pure Neon (N50) |
| 氖氣 | ≥ 99.999% |
| 氧氣 | ≤ 0.1 ppm |
| 氮氣 | ≤ 0.5 ppm |
| 二氧化碳 | ≤ 0.1 ppm |
| 一氧化碳 | ≤ 0.1 ppm |
| 水 | ≤ 0.1 ppm |
| 氫氣 | ≤ 0.5 ppm |
| THC | ≤ 0.5 ppm |
| 氦氣 | ≤ 3.0 ppm |