5. Gas Khusus
5.3 Gas Langka
Gas langka, seperti Neon, Kripton dan Xenon, menurut tingkat kemurniannya (standar hingga ultra-tinggi), dapat digunakan di bidang industri, medis, elektronik, dan penerbangan. Beberapa di antaranya adalah penggunaan Xenon untuk meningkatkan tingkat keberhasilan bedah medis, pesawat antariksa bertenaga Xenon, pencahayaan yang lebih baik dengan Xenon dan Kripton, serta penggunaan Kripton untuk kaca jendela berinsulasi tinggi.
| XENON | ||
|---|---|---|
| Komponen | Xenon Murni (N48) | Xenon Ekstra Murni (N50) |
| H2O | ≤ 1,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| O2 | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| N2 | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm |
| H2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| Ar | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| CnHm | ≤ 0,5 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CO | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CO2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CF4 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,1 ppm |
| C2F6 | - | ≤ 0,1 ppm |
| SF6 | - | ≤ 0,1 ppm |
| Kr | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm |
| KRIPTON | ||
|---|---|---|
| Komponen | Kr Murni (N48) | Kr Ekstra Murni (N50) |
| H2O | ≤ 1,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| O2 | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| N2 | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm |
| H2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| Ar | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm |
| CnHm | ≤ 0,5 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CO | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CO2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| CF4 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm |
| Xe | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm |
| Kr dengan Tingkat Kemurnian Rendah (N₂O) | ||
| H2O | ≤ 10,0 ppm | |
| O2+N2+H2+Xe | ≤ 1,0% | |
| NEON | |
|---|---|
| Komponen | Neon Murni (N50) |
| Ne | ≥ 99,999% |
| O2 | ≤ 0,1 ppm |
| N2 | ≤ 0,5 ppm |
| CO2 | ≤ 0,1 ppm |
| CO | ≤ 0,1 ppm |
| H2O | ≤ 0,1 ppm |
| H2 | ≤ 0,5 ppm |
| THC | ≤ 0,5 ppm |
| He | ≤ 3,0 ppm |