5.特殊ガス
5.3 希ガス
ネオン、クリプトン、キセノンのような希少ガスは、工業用、医療用、電子機器用、航空用など、標準的な純度から超高純度のものまで幅広く使用されています。キセノンによる外科手術の成功率の向上、キセノンを動力源とする宇宙船、キセノンやクリプトンによる照明の改善、クリプトンによる高断熱窓への応用などがあります。
| キセノン | |||
|---|---|---|---|
| 成分 | 純キセノン（N48） | 超純キセノン（N50） | |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.1 ppm | |
| C2F6 | 含まれていません | ≤ 0.1 ppm | |
| SF6 | 含まれていません | ≤ 0.1 ppm | |
| Kr | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
含まれていません
| クリプトン | |||
|---|---|---|---|
| 成分 | 純 Kr（N48） | 超純 Kr（N50） | |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Xe | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| 含まれていません | 低純度 Kr（N₂O） | 含まれていません | |
| H2O | ≤ 10.0 ppm | 含まれていません | |
| O2 + N2 + H2 + Xe | ≤ 1.0% | 含まれていません | |
| ネオン | ||
|---|---|---|
| 成分 | 純ネオン（N50） | |
| Ne | ≥ 99.999% | |
| O2 | ≤ 0.1 ppm | |
| N2 | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 0.1 ppm | |
| CO | ≤ 0.1 ppm | |
| H2O | ≤ 0.1 ppm | |
| H2 | ≤ 0.5 ppm | |
| THC | ≤ 0.5 ppm | |
| He | ≤ 3.0 ppm | |