5.特殊ガス
5.4 ケミカルズ
エア・リキードは、化学物質（メタン、エタン、エチレン、プロパン、プロピレン、アンモニアなど）を、さまざまなパッケージ（10 L シリンダ、110 L ドラム缶、カードル / パレット）で提供しています。ケミカルズは、安定したサプライチェーンと供給源により、異なる用途に向けたグレードもご用意しております。
アンモニア（NH3）
アンモニアは、化学、石油、木材、金属などのさまざまな産業分野で使用されています。製氷、凍結乾燥、プロセス冷却などの産業で使用される最も古い冷媒ガスの 1 つです。
その他の用途例：
- 肥料用途
- ゴム産業における貯蔵中の生ゴム製品の凝固を防ぐ添加剤。
- 洗浄剤。
六フッ化硫黄 (SF6)
半導体やディスプレイ製造において、六フッ化硫黄は炭素副生成物を発生させずに高密度プラズマエッチングのためのフッ素源を提供します。六フッ化硫黄は、金属基板に対して金属シリサイド、窒化物、酸化物のエッチングに使用されます。また、ディスプレイ製造で、化学蒸着（CVD）反応器の洗浄にも使用されます。エア・リキードは、温室効果ガス削減への取り組みの一環として、SF₆ の代替ガスの開発と提供を実現しました。
六フッ化硫黄は、変圧器の誘電体（絶縁材料）としても使用されています。
Fumigas
弊社の Fumigas 製品は、エチレンオキシド（ETO）と二酸化炭素（CO2）混合物で構成され、包装や食品の燻蒸および滅菌工程で使用されています。
メタン (CH4)
液化天然ガス（LNG）の主成分であるメタンは、クリーンな燃焼が可能な燃料ガスとしてさまざまな産業で使用されています。高純度のメタンは、電子部品に用いられるカーボンブラックの製造にも使われています。
また、メタンは、天然ガス地域においてガス機器の試験にも使用されています。
プロパン (C3H8)
プロパンは、液化石油ガス（LPG）として、化石燃料よりもクリーンな燃焼を実現する産業用燃料ガスとして使用されています。
その他の用途としては、金属加工における金属溶解、さまざまな産業での冷媒の使用、温度や圧力制御機器のサーモバルブ充填などがあります
二酸化硫黄 (SO2)
二酸化硫黄は、電子産業でエッチングガス混合物の添加剤として使われるほか、食品・飲料産業ではビール、ワイン、肉の保存料として使用されています。また、冷媒、殺菌剤としても使用されています。
シラン SiH4
シランは、半導体製造において、ポリシリコン製造やエピタキシャル成長、および化学蒸着（CVD）による SiO₂、Si₃N₄ のシリコン源として使用されています。ディスプレイ製造では、シランは主に、Si3N4
およびポリシリコン膜のプラズマ強化化学化学蒸着（PECVD）に使用されています。シランは、結晶シリコン太陽電池製造において、窒化シリコン反射防止層の蒸着でも使用されています。また、シランは、太陽電池や半導体に用いられる高純度シリコンの製造の中間体としても使用されています。
プロピレン
プロピレンは、より複雑な化学物質のための基礎となる化学物質です。プロピレンから生成される化学物質には、プロピレンオキシド、アクリロニトリル、クメン、アクリル酸などがあります。これらの化学物質は、フィルム、繊維、容器、包装、キャップや栓などのさまざまな製品に使用されています。また、石油化学産業でも使用され、生産時の原材料として使用されています。
硫化水素 H2S
- 硫化水素は、カルコゲナイド薄膜太陽電池において、光吸収バンドギャップを調整するための銅インジウムガリウム膜の硫黄源となります。
- 研究所やリサーチセンターでは、硫化水素は、石油化学産業、環境排出モニタリング、産業衛生モニタリング、微量不純物分析計の校正用混合ガス、特に水素の品質管理用の校正ガスとして使用されています。
- 製薬およびバイオテクノロジーにおいては、硫化水素は、特定の化学プロセスにおける反応物質として使用されています。