5.3 희귀 가스
네온, 크립톤 및 제논과 같은 희귀 가스는 표준 순도부터 산업, 의료, 전자 및 항공 분야를 위한 초고순도까지 다양합니다. 일부 응용 분야에는 제논을 이용한 수술 성공률 향상, 제논 연료 추진형 우주선, 제논과 크립톤을 이용한 조명 개선, 고단열 창문용 크립톤 등이 포함됩니다.
| 제논 | ||
|---|---|---|
| 성분 | 고순도 제논 (N48) | 초고순도 제논(N50) |
| 물 | ≤ 1.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| 산소 | ≤ 2.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| 질소 | ≤ 5.0ppm | ≤ 2.0ppm |
| 수소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 아르곤 | ≤ 2.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| CₙHₘ | ≤ 0.5ppm | ≤ 0.5ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 사불화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.1ppm |
| 헥사플루오로에탄 | ≤ 0.1ppm | |
| 육플루오린화황 | ≤ 0.1ppm | |
| 크립톤 | ≤ 5.0ppm | ≤ 2.0ppm |
| 크립톤 | ||
|---|---|---|
| 성분 | 고순도 크립톤 (N48) | 초고순도 크립톤 (N50) |
| 물 | ≤ 1.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| 산소 | ≤ 2.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| 질소 | ≤ 5.0ppm | ≤ 2.0ppm |
| 수소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 아르곤 | ≤ 2.0ppm | ≤ 1.0ppm |
| CₙHₘ | ≤ 0.5ppm | ≤ 0.5ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 사불화탄소 | ≤ 1.0ppm | ≤ 0.5ppm |
| 제논 | ≤ 5.0ppm | ≤ 2.0ppm |
| 저순도 크립톤 (질소O) | ||
| 물 | ≤ 10.0ppm | 포함되지 않음 |
| 산소+질소+수소+제논 | ≤ 1.0% | 포함되지 않음 |
| 네온 | |
|---|---|
| 성분 | 고순도 네온(N50) |
| 네온 | ≥ 99.999% |
| 산소 | ≤ 0.1ppm |
| 질소 | ≤ 0.5ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 0.1ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 0.1ppm |
| 물 | ≤ 0.1ppm |
| 수소 | ≤ 0.5ppm |
| 토륨 | ≤ 0.5ppm |
| 헬륨 | ≤ 3.0 ppm |
