5.SG 製品
5.2 希ガス
Kr、Xe, Ne, 等の希ガスは、半導体およびメモリーチップ、宇宙、ガラスおよび絶縁ガラス、照明、研究、フラットパネルディスプレイおよびヘルスケアなどの特定の用途にとって重要なガスです。
| キセノン | |||
|---|---|---|---|
| 成分 | キセノン（N45） | 高純度キセノン（N50） | |
| Xe | 99.995% | 99.999% | |
| H₂O | < 3 ppm | < 1 ppm | |
| O₂ | < 3 ppm | < 1 ppm | |
| N₂ | < 10 ppm | < 3 ppm | |
| CnHm | < 2 ppm | < 1 ppm | |
| CO | < 0.1ppm | ||
| CO₂ | < 0.5 ppm | < 0.5 ppm | |
| Kr | < 35 ppm | < 3 ppm | |
| クリプトン | |||
|---|---|---|---|
| 成分 | クリプトン（N45） | 高純度クリプトン（N50） | |
| Kr | 99.995% | 99.999% | |
| H₂O | < 3 ppm | < 1 ppm | |
| O₂ | < 3 ppm | < 1 ppm | |
| N₂ | < 10 ppm | < 3 ppm | |
| CnHm | ≤ 1 ppm | < 0.5 ppm | |
| CO | < 0.1 ppm | ||
| CO₂ | < 0.2 ppm | < 0.2 ppm | |
| Xe | < 35 ppm | < 5 ppm | |
| ネオン | |||
|---|---|---|---|
| 成分 | ネオン（N40) | 高純度ネオン（N50） | |
| Ne | >99.99% | ≥ 99.999% | |
| O₂ | < 3 ppm | <1 ppm | |
| N₂ | < 15 ppm | < 3 ppm | |
| CO₂ | < 0.1 ppm | ||
| H₂O | < 3 ppm | < 1 ppm | |
| H₂ | < 2 ppm | < 0.5 ppm | |
| THC | < 0.2 ppm | ||
| He | < 80 ppm | < 4 ppm | |