5. ก๊าซพิเศษ
5.3 ก๊าซหายาก
ก๊าซหายาก เช่น นีออน คริปตอน และซีนอน มีตั้งแต่ระดับบริสุทธิ์มาตรฐานไปจนถึงบริสุทธิ์สูงพิเศษสำหรับการใช้งานทางอุตสาหกรรม การแพทย์ อิเล็กทรอนิกส์ และการบิน ตัวอย่างการใช้งาน ได้แก่ การเพิ่มโอกาสสำเร็จของการผ่าตัดด้วยซีนอน ยานอวกาศพลังงานซีนอน หลอดไฟที่ดีขึ้นจากซีนอนและคริปตอน รวมถึงการใช้คริปตอนในกระจกหน้าต่างกันความร้อนสูง
| ซีนอน | |||
|---|---|---|---|
| ส่วนประกอบ | ซีนอนบริสุทธิ์ (N48) | ซีนอนบริสุทธิ์พิเศษ (N50) | |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.1 ppm | |
| C2F6 | ไม่รวม | ≤ 0.1 ppm | |
| SF6 | ไม่รวม | ≤ 0.1 ppm | |
| Kr | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| คริปตอน | |||
|---|---|---|---|
| ส่วนประกอบ | Kr บริสุทธิ์ (N48) | Kr บริสุทธิ์พิเศษ (N50) | |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm | |
| Xe | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm | |
| ไม่รวม | Kr บริสุทธิ์ต่ำ (N20) | ||
| H2O | ≤ 10.0 ppm | ||
| O2+N2+H2+Xe | ≤ 1.0% | ||
| คริปตอน | ||
|---|---|---|
| ส่วนประกอบ | นีออนบริสุทธิ์ (N50) | |
| Ne | ≥ 99.999% | |
| O2 | ≤ 0.1 ppm | |
| N2 | ≤ 0.5 ppm | |
| CO2 | ≤ 0.1 ppm | |
| CO | ≤ 0.1 ppm | |
| H2O | ≤ 0.1 ppm | |
| H2O | ≤ 0.5 ppm | |
| THC | ≤ 0.5 ppm | |
| He | ≤ 3.0 ppm | |