5. 特殊ガス
5.3 希ガス
ネオン、クリプトン、キセノンのような希少ガスは、工業用、医療用、電子機器用、航空用など、標準的な純度から超高純度のものまで幅広く使用されています。キセノンによる外科手術の成功率の向上、キセノンを動力源とする宇宙船、キセノンやクリプトンによる照明の改善、クリプトンによる高断熱窓への応用などがあります。
| キセノン | ||
|---|---|---|
| 成分 | 純キセノン (N48) | 超純キセノン (N50) |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.1 ppm |
| C2F6 | ≤ 0.1 ppm | |
| SF6 | ≤ 0.1 ppm | |
| Kr | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| クリプトン | ||
|---|---|---|
| 成分 | 純 (N48) | 超純 Kr (N50) |
| H2O | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| O2 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| N2 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| H2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Ar | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| CnHm | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CO | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CO2 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| CF4 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| Xe | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 低純度 Kr (N₂O) | ||
| H2O | ≤ 10.0 ppm | |
| O2+N2+H2+Xe | ≤ 1.0% | |
| ネオン | |
|---|---|
| 成分 | 純ネオン (N50) |
| Ne | ≥ 99.999% |
| O2 | ≤ 0.1 ppm |
| N2 | ≤ 0.5 ppm |
| CO2 | ≤ 0.1 ppm |
| CO | ≤ 0.1 ppm |
| H2O | ≤ 0.1 ppm |
| H2 | ≤ 0.5 ppm |
| THC | ≤ 0.5 ppm |
| He | ≤ 3.0 ppm |