5. 特殊ガス
5.4 ケミカルズ
エア・リキードはメタン、エタン、エチレン、プロパン、プロピレン、アンモニア等のガス製品を、さまざまなグレード、パッケージで提供しています。
アンモニア (NH3)
アンモニアは、化学、石油、木材、金属などのさまざまな産業分野で使用されています。製氷、凍結乾燥、プロセス冷却などの産業で使用される最も古い冷媒ガスの 1 つです
その他の用途例：
- 土壌の肥沃化
- ゴム産業における貯蔵中の生ゴム製品の凝固を防ぐ添加剤
- 洗浄剤
六フッ化硫黄 (SF6)
半導体やディスプレイ製造において、六フッ化硫黄は炭素副生成物を発生させずに高密度プラズマエッチングのためのフッ素源を提供します。六フッ化硫黄は、金属基板に対して金属シリサイド、窒化物、酸化物のエッチングに使用することができます。また、ディスプレイ製造で、化学蒸着（CVD）反応器の洗浄にも使用されます
六フッ化硫黄は、変圧器の誘電体（絶縁材料）としても使用されています。
メタン (CH4)
液化天然ガス（LNG）の主成分であるメタンは、クリーンな燃焼を実現するためにさまざまな産業で使用される燃料ガスです。高純度メタンは、電子部品に使用される材料であるカーボンブラックの製造に使用されます。
また、メタンは、天然ガス地域においてガス機器の試験にも使用されています。
プロパン (C3H8)
プロパンは液化石油ガス の一種であり、化石燃料よりもクリーンな燃焼を提供する産業用燃料ガスとして利用されています。その他の用途としては、金属加工業における金属溶融や、いくつかの産業における冷媒としても
使用されています。また、温度や圧力を制御する機器の熱電球にも使用されます。
二酸化硫黄 (SO2)
二酸化硫黄は産業界で広く利用されているガスです。電子産業におけるエッチングガス混合物への添加剤として、食品・飲料産業におけるビール、ワイン、肉の保存料として使用されます。冷媒、殺菌剤としても使用できます。