5. 특수 가스
5.3 희귀 가스
Neon, Krypton 및 Xenon과 같은 희귀 가스는 표준 순도부터 산업, 의료, 전자 및 항공 분야를 위한 초고순도까지 다양합니다. 일부 응용 분야에는 제논을 이용한 수술 성공률 향상, 제논 연료 추진형 우주선, 제논과 크립톤을 이용한 조명 개선, 고단열 창문용 크립톤 등이 포함됩니다.
| 제논 | ||
|---|---|---|
| 성분 | 순수 제논 (N48) | 초순수 제논 (N50) |
| 물 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 산소 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 질소 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 수소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 아르곤 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 탄화수소 | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 프레온 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.1 ppm |
| 플루오린 | ≤ 0.1 ppm | |
| 육불화황 | ≤ 0.1 ppm | |
| 크립톤 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 크립톤 | ||
|---|---|---|
| 성분 | 순수 크립톤 (N48) | 초순수 크립톤 (N50) |
| 물 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 산소 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 질소 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 수소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 아르곤 | ≤ 2.0 ppm | ≤ 1.0 ppm |
| 탄화수소 | ≤ 0.5 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 프레온 | ≤ 1.0 ppm | ≤ 0.5 ppm |
| 제논 | ≤ 5.0 ppm | ≤ 2.0 ppm |
| 저순도 크립톤(아산화질) | ||
| 물 | ≤ 10.0 ppm | |
| 산소+질소+수소+제논 | ≤ 1.0% | |
| 네온 | |
|---|---|
| 성분 | 순도 네온 (N50) |
| 네 | ≥ 99.999% |
| 산소 | ≤ 0.1 ppm |
| 질소 | ≤ 0.5 ppm |
| 이산화탄소 | ≤ 0.1 ppm |
| 일산화탄소 | ≤ 0.1 ppm |
| 물 | ≤ 0.1 ppm |
| 수소 | ≤ 0.5 ppm |
| THC | ≤ 0.5 ppm |
| 헬륨 | ≤ 3.0 ppm |