5. Khí chuyên dụng
5.3 Khí hiếm
Khí hiếm như Neon, Krypton và Xenon có độ tinh khiết từ mức tiêu chuẩn đến độ tinh khiết cực kỳ cao dùng trong các ứng dụng công nghiệp, y tế, điện tử và hàng không. Một số ứng dụng bao gồm cải thiện hiệu quả phẫu thuật bằng đèn Xenon, tàu vũ trụ chạy bằng đèn Xenon, chiếu sáng tốt hơn bằng đèn Xenon và Krypton và đèn Krypton dùng cho cửa sổ cách nhiệt cao.
| XENON | |||
|---|---|---|---|
| Thành phần | Xenon tinh khiết (N48) | Xenon siêu tinh khiết (N50) | |
| H2O | ≤ 1,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| O2 | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| N2 | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm | |
| H2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| Ar | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0,5 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CO | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,1 ppm | |
| C2F6 | không bao gồm | ≤ 0,1 ppm | |
| SF6 | không bao gồm | ≤ 0,1 ppm | |
| Kr | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm | |
| KRYPTON | |||
|---|---|---|---|
| Thành phần | KR tinh khiết (N48) | KR siêu tinh khiết (N50) | |
| H2O | ≤ 1,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| O2 | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| N2 | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm | |
| H2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| Ar | ≤ 2,0 ppm | ≤ 1,0 ppm | |
| CnHm | ≤ 0,5 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CO | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CO2 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| CF4 | ≤ 1,0 ppm | ≤ 0,5 ppm | |
| Xe | ≤ 5,0 ppm | ≤ 2,0 ppm | |
| Kr độ tinh khiết thấp (N2O) | không bao gồm | ||
| H2O | ≤ 10,0 ppm | không bao gồm | |
| O2+N2+H2+Xe | ≤ 1,0% | không bao gồm | |
| NEON | ||
|---|---|---|
| Thành phần | Neon tinh khiết (N50) | |
| Ne | ≥ 99,999% | |
| O2 | ≤ 0,1 ppm | |
| N2 | ≤ 0,5 ppm | |
| CO2 | ≤ 0,1 ppm | |
| CO | ≤ 0,1 ppm | |
| H2O | ≤ 0,1 ppm | |
| H2 | ≤ 0,5 ppm | |
| THC | ≤ 0,5 ppm | |
| He | ≤ 3,0 ppm | |